在半導(dǎo)體測試中，測試機(jī)的測試頭和分選機(jī)（handler）或晶圓探針臺（wafer prober）需要對接產(chǎn)生信號聯(lián)系，在被測試器件(device to be tested )之間，通過輸入輸出測試信號(testing signal )，執(zhí)行被測試器件的測試的半導(dǎo)體測試裝置和可安裝在這樣的半導(dǎo)體測試裝置上的接口板。

       在ATE 設(shè)備測試過程中，測試頭(test head)和晶圓探針（prober）之間機(jī)械接口穩(wěn)定連接相當(dāng)重要?？蛻敉媾R著頻繁測試對接任務(wù)，測量精度要求高，不同的測試機(jī)和探針臺組合，位移等一系列挑戰(zhàn)......所以他們需要在測試機(jī)和探針臺之間建立一組穩(wěn)定的信號連接關(guān)系，則需要臨時(shí)將被測試器件實(shí)際安裝在半導(dǎo)體測試裝置上，通過半導(dǎo)體測試裝置上設(shè)置的信號組件與被測試之間輸入輸出測試信號來執(zhí)行測試。

以下是常見的接口對接示意圖：

Tester – Prober 測試機(jī) - 探針臺

Tester – Handler 測試機(jī) – 分選機(jī)

Tester - Prober 測試機(jī) - 探針臺