ZL50 溫控器
ZL50 溫控器
SEMI Chiller溫控器主要用于半導(dǎo)體（FAB）和FPD顯示制程中工藝設(shè)備的溫度精準(zhǔn)控制，如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設(shè)備的控溫（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。
SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲(chǔ)液罐、制冷壓縮機(jī)及控制系統(tǒng)組成的工藝過(guò)程中的溫控設(shè)備。
特點(diǎn)
先進(jìn)的控制技術(shù)，模糊控制，前饋控制，確保設(shè)備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性
先進(jìn)的節(jié)能技術(shù)，Hot-Gas，變頻技術(shù)等大幅降低了設(shè)備能耗
先進(jìn)的密封和檢漏技術(shù)，極大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況
超低溫制冷技術(shù)，單/多級(jí)復(fù)疊技術(shù)，多層復(fù)合保溫技術(shù)
支持用戶多通道/多類(lèi)型定制需求
技術(shù)規(guī)格
| ZL50S Chiller | Specification | |||||
| Temperature range | -50 to +40℃ | |||||
| Temperature accuracy | ±0.1℃（Constant state） | |||||
| Cooling capacity | -40℃@5Kw | |||||
| Coolant Type | Galden | |||||
| Heater capacity | 3Kw | |||||
| Flow | 20LPM@0.5Mpa | |||||
| Cooling method | Water cooled | |||||
| Coolant Port | 3/4” Rc or LOK | |||||
| Facility water Port | 1/2” Rc or LOK | |||||
| Power supply | 3-phase 208V±10% | |||||
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