CP測試是指在晶圓還未切割和封裝之前,直接在晶圓上對每一個芯片單元(Die)進行的電性和功能性測試。這是一種“探測”性的測試,目的是盡早識別和剔除不合格的芯片,避免不必要的后續(xù)成本。這個測試系統(tǒng)主要由以下幾個核心部分組成:
測試機(ATE):通過一系列標準化的測試程序來檢測芯片的各項性能指標。它的主要組成包括:
· 測試機頭:與芯片直接接觸,執(zhí)行具體的測試任務。
· 測試程序:由工作站從服務器下載后在本地執(zhí)行。
探針臺(Prober):負責將晶圓定位準確,以便測試機能進行精確檢測。探針臺通過操作將探針卡上的探針準確對準晶圓上的測試焊盤,確保信號順利傳遞。
探針卡(Probe Card):可視為連接測試機與晶圓的管道,它上面的探針接觸晶圓上的測試焊盤,把電信號傳遞至芯片。探針通常由優(yōu)質(zhì)導電材料制成,以確保信號傳輸?shù)挠行浴?/p>
針測接口板和針塔:這兩者結(jié)合形成一個完整的信號回路,讓電信號從ATE傳輸?shù)教结槪俚骄A。
晶圓卡盤(Chuck):它固定晶圓位置,穩(wěn)固且精確地保持晶圓在正確的位置以利于測試機進行有效診斷。
CP測試通過探針卡(Probe Card),將電信號傳導到每個芯片單元,并通過測試設備對其電性能進行測量。測試項通常包括閾值電壓(Vt)、導通電阻(Rdson)、漏電流(Idss)等基礎電性能參數(shù),所有部分都緊密地協(xié)作,就像一個完整的體檢過程,確保每顆芯片都通過嚴格的測試程序,為下游的生產(chǎn)工序提供高質(zhì)量的“健康”芯片。通過這樣的系統(tǒng)性測試,工廠能大幅度降低生產(chǎn)缺陷,保證產(chǎn)品質(zhì)量。
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