分選機(jī)和探針臺(tái)是將芯片的引腳與測試機(jī)的功能模塊連接起來并實(shí)現(xiàn)批量自動(dòng)化測試的專用設(shè)備。在設(shè)計(jì)驗(yàn)證和成品測試環(huán)節(jié)，測試機(jī)需要和分選機(jī)配合使用；在晶圓檢測環(huán)節(jié)，測試機(jī)需要和探針臺(tái)配合使用。

       分選機(jī)的特點(diǎn):

       1.由于集成電路的小型化和集成化特征，分選機(jī)對自動(dòng)化高速重復(fù)定位控制能力和測壓精度要求較高，誤差精度普遍要求在0.01mm等級。

       2.分選機(jī)的批量自動(dòng)化作業(yè)要求其具備較強(qiáng)的運(yùn)行穩(wěn)定性，例如對UPH(每小時(shí)運(yùn)送集成電路數(shù)量)和Jam Rate(故障停機(jī)比率)的要求很高。

       3.集成電路封裝形式的多樣性要求分選機(jī)具備對不同封裝形式集成電路進(jìn)行測試時(shí)能夠快速切換的能力，從而形成較強(qiáng)的柔性化生產(chǎn)能力及適應(yīng)性。

       4.集成電路測試對外部測試環(huán)境有一定要求，例如部分集成電路測試要求在-55—150°C的多種溫度測試環(huán)境、無磁場干擾測試環(huán)境、多種外場疊加的測試環(huán)境中進(jìn)行，如何給定相應(yīng)的測試環(huán)境是分選機(jī)技術(shù)難點(diǎn)。

       氣體制冷機(jī)是一種閉環(huán)制冷系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于將干燥氣體(如氮?dú)?，氬氣或空?從環(huán)境溫度冷卻到低溫，而無需預(yù)冷，氣體是非循環(huán)的。氣體制冷機(jī)使用制冷級聯(lián)技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)低溫和超低溫冷卻氣體冷卻工藝，無需使用液氮和干冰的消耗性冷卻劑，降低了成本、風(fēng)險(xiǎn)；是氣體制冷應(yīng)用非常具有成本效益的系統(tǒng)。廣泛的溫度范圍可為分選機(jī)提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，應(yīng)用于半導(dǎo)體加工部件冷卻、材料的低溫表征實(shí)驗(yàn)等試驗(yàn)。

       探針臺(tái)的特點(diǎn):

       1.探針臺(tái)精度要求非常嚴(yán)苛，重復(fù)定位精度要求達(dá)到0.001mm(微米)等級。

       2.晶圓檢測對于設(shè)備穩(wěn)定性要求極高，各個(gè)執(zhí)行器件均需進(jìn)行多余度的控制，晶圓損傷率要求控制在1ppm(百萬分之一)以內(nèi)。

       3.晶圓檢測需具備多套視覺精密測量及定位系統(tǒng)，并具備視覺相互標(biāo)定、多個(gè)坐標(biāo)系互相擬合的功能。

       4.探針臺(tái)對設(shè)備工作環(huán)境潔凈度要求極高，除需達(dá)到幾乎無人干預(yù)的全自動(dòng)化作業(yè)，對傳動(dòng)機(jī)構(gòu)低粉塵提出要求，還需具備氣流除塵等特殊功能。

       Chiller 液冷機(jī)是一臺(tái)對循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。具有廣泛的溫度范圍：-20℃至+90℃，能為探針臺(tái)在測試過程中提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業(yè)用途廣泛。